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「E」の計測器用語一覧

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EEPROM

一度書き込んだ情報を電気的に消去して再書き込みできるROM

EMC

計測器またはシステムががノイズをむやみに発生させない(エミッション)、ある程度のノイズに耐えられる(イミュニティ)、人体及びシステムに影響を与えないで作動する能力のこと。電磁両立性と訳される。

EL

電解効果発光現象(ある種の蛍光体に交流電圧を印加したとき、電界により、発光する現象)を利用した表示素子。発光色はアンバー色で、薄型・軽量を目的とするEL ディスプレイなどに利用されている。

EDS

エネルギー分散型X線分光器を使ったX線分光法。同時に広い元素範囲の同時分析ができるが、エネルギー分解能、検出限界などではWDSの方が有利である。SEM、TEMでの元素分析はほとんどがこの方法による。また、RoHS用やハンディの蛍光X線で使われているのもこの方法である。=EDX。

EDX

エネルギー分散型X線分光器を使ったX線分光法。同時に広い元素範囲の同時分析ができるが、エネルギー分解能、検出限界などではWDSの方が有利である。SEM、TEMでの元素分析はほとんどがこの方法による。また、RoHS用やハンディの蛍光X線で使われているのもこの方法である。=EDS。

EPMA

電子線マイクロアナリシス。加速した電子戦を物質に照射したときに発生する特性X線を検出することにより、電子線が照射されている微小部分の構成元素の種類とそ比率を分析する装置。

EPROM

消去可能のROM である。PROM の一種であるが、紫外線照射などによって一度プログラムしたデータを消去して再度プログラムできる。

EUV

【extreme ultraviolet】超紫外線 13.5nmと非常に短い波長を用いる次世代露光技術。最先端の22nm以降の半導体製造用に研究が進められている。

EEPROM

【イー・イー・ピーロム】Electprocally Erasable Programmable Read-Only Memory。特定の電圧を印加することで消去・書込みが可能な不揮発性メモリ。

ESCA

【Electron spectroscopy for chemical analysis】X線光電子分光法。単一エネルギーのX線を照射し、発生する光電子のエネルギースペクトルを測定する方法。極表面の元素分析ができる。またピークシフトより元素の化学状態についての情報も得られる(金属か酸化物かなど)。近年は一般的にはXPS(X線光電子分光法)と呼ばれるが、化学状態分析のできる光電子分光法という意味でESCA(エスカ)とも呼ばれる。

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