Glossary 用語集(二次電子)

二次電子

  • ニジデンシ【secondary electron】固体に外部から電子を打ち込むとき、固体内の電子が励起され放出されたもの。走査型電子顕微鏡(SEM)では、50eV以下のエネルギーで放出されるものを二次電子といい、これを主に検出する二次電子像を観察することが多い。

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