ウエハー表裏面のアライメントマークの自動検査システム
◆指定したワークの測定箇所に自動で移動し、水晶振動子、ＭＥＭＳ、半導体ウェハ、電子部品の表裏パターンやアライメントマークのずれを自動測定できます。 ◆ＸＹステージとワークの装着位置のずれ補正アライメント機能、測定対象を映像中心位置に移動制御するセンタリング機能を搭載。正確に移動制御し測定エラーを防ぎます。
株式会社フローベル 8インチXY電動ステージ制御 両面顕微鏡計測システム (TOMOS-80XY)
8インチXY電動ステージ制御 両面顕微鏡計測システムの特長
・XY電動ステージ制御
・自動計測ソフトも対応可能
・オートフォーカスユニット搭載
・他、画像処理、計測機能もカスタマイズ可能
・ウエハー自動搬送機機能もオプションで対応可能
・XY電動ステージ制御
・自動計測ソフトも対応可能
・オートフォーカスユニット搭載
・他、画像処理、計測機能もカスタマイズ可能
・ウエハー自動搬送機機能もオプションで対応可能
Contact
8インチXY電動ステージ制御 両面顕微鏡計測システムに関するお問い合わせ
出展企業情報
- 企業名
-
株式会社フローベル
- 企業PR
- "人間の目を超える超最先端カメラの開発メーカーです。 1975年に設立された当社は、計測用ビデオ機器の開発・製造・販売からスタートし、 顕微鏡用カメラ、内視鏡立体カメラシステム等、 他社にない革新的な産業機器用の各種カメラを開発・製造・販売をしている会社です。 近年では超高感度カメラを開発し、 第71回(2020年)エミー賞(ANNUAL TECHNOLOGY & ENGINEERING EMMYR AWARDS) を受賞いたしました。 フローベルの超高感度カメラは宇宙・深海・監視・医療まで幅広く使われ、 引き続き「見えないものを見えるようにする」との企業コンセプトのもと、 ソフト・ハードを組み合わせた最先端の研究開発型企業として 監視系、医療系、FA系、スポーツ系、インタラクティブ系等々幅広い分野で 社会のお役に立てる「もの造り」に取り組んでまいります"
