株式会社フローベル 6インチ電動XYステージ両面顕微鏡システム (TOMOS-60XY)

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両面顕微鏡計測システム電動ＸＹステージとオートフォーカス機能を搭載

◆指定したワークの測定箇所に自動で移動し、水晶振動子、ＭＥＭＳ、半導体ウェハ、電子部品の表裏パターンやアライメントマークのずれを自動測定できます。 ◆ＸＹステージとワークの装着位置のずれ補正アライメント機能、測定対象を映像中心位置に移動制御するセンタリング機能を搭載。正確に移動制御し測定エラーを防ぎます。

製品名: 6インチ電動XYステージ両面顕微鏡システム

型番: TOMOS-60XY

価格: お問合せ下さい

発売日: 発売中

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6インチ電動XYステージ両面顕微鏡システムの特長

用途

【観察】

電子ペーパーの電気泳動、粒子、流体、
フィルターなどの表裏同時観察

■落射、透過、落射＋透過照明で撮影が可能
■両面同時観察、画像ファイリング、動画記録

【表裏位置ずれ計測】

水晶振動子、ＭＥＭＳなどのアライメントマーク、
貫通穴の表裏位置ずれ計測

■表裏画像の重ね合わせ表示、計測
■測定個人差の無い自動計測が可能

【表裏寸法計測】

水晶振動子、半導体線幅パターンなどの表裏寸法計測

■両面同時に寸法計測
■測定個人差の無い自動計測が可能

機能

マークのエッジから中心座標を自
動検出し高精度にずれ測定が可能

測定対象をセンタリング制御
しステージ移動誤差を解消

ワークをひっくり返す手間無く
表裏の微小線幅寸法測定も可能
（オプション）

●ソフト、サンプルホルダーなどのカスタマイズ対応

ワーク名、ロットナンバー情報などの入力、特殊マーク形状、パターン形状の自動測定、位置ずれ、寸法以外の測定内容、測定結果の出力方法など、ソフトウェアのカスタマイズは、ご相談下さい。お客様のワーク形状や材料に合わせたサンプルホルダーの製作もご相談下さい。

●縦型液晶２画面表示イメージ

6インチ電動XYステージ両面顕微鏡システムの資料ダウンロード

TOMOS60XY_1206.pdf
610.84 KB

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出展企業情報

企業名: 株式会社フローベル

企業PR: "人間の目を超える超最先端カメラの開発メーカーです。 1975年に設立された当社は、計測用ビデオ機器の開発・製造・販売からスタートし、顕微鏡用カメラ、内視鏡立体カメラシステム等、他社にない革新的な産業機器用の各種カメラを開発・製造・販売をしている会社です。近年では超高感度カメラを開発し、第71回(2020年)エミー賞(ANNUAL TECHNOLOGY & ENGINEERING EMMYR AWARDS) を受賞いたしました。フローベルの超高感度カメラは宇宙・深海・監視・医療まで幅広く使われ、引き続き「見えないものを見えるようにする」との企業コンセプトのもと、ソフト・ハードを組み合わせた最先端の研究開発型企業として監視系、医療系、FA系、スポーツ系、インタラクティブ系等々幅広い分野で社会のお役に立てる「もの造り」に取り組んでまいります"