AF機能を搭載し表裏の位置ずれを高精度自動計測! ワークを裏返しせず、同軸で表裏の観察・外観検査が可能!
・小型化高精度化し、両面の位置ずれを±1umで測定 ・FA自動化へ対応可能なシステム ・両面ともにAFを搭載可能で、再現性が高い計測が可能 ・下側にIRカメラも搭載可能で、内部の位置ずれも計測可能
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・小型化高精度化し、両面の位置ずれを±1umで測定 ・FA自動化へ対応可能なシステム ・両面ともにAFを搭載可能で、再現性が高い計測が可能 ・下側にIRカメラも搭載可能で、内部の位置ずれも計測可能
電子ペーパーの電気泳動、粒子、流体などの表裏同時観察、動画記録
・落射、透過、落射+透過撮影が可能。
・表裏同時観察、画像ファイリング、動画記録、表裏重ね合わせ表示、手動寸法測定。
プリント基板貫通穴、メッシュフィルター、水晶振動子などの表裏位置ずれ計測、寸法計測
・表裏カメラ座標を校正し、位置ずれ計測。
・エッジを自動で検出し、測定個人差の無い表裏パターンの線幅/寸法計測。
鏡筒 | 正立+倒立 |
対物レンズ | 5倍、10倍、20倍、50倍から選択 |
オートフォーカス | あり(正立、倒立) |
粗微動調整 | 電動(正立、倒立) |
XYステージ | 手動 X:80mm Y:80mm |
照明
照明 | 白色LED(PC制御) |
カメラ
台数 | 2台(正立、倒立) |
画素数 | 約300万画素 |
撮像サイズ | 約1/1,8型 |
映像方式 | カラー |
映像出力 | CameraLink |
制御部
PC(OS) | Windows10 |
制御内容 | カメラ、照明 |
表示モニター | 上下2画面同時表示 |
ソフトウェア
システム制御 | ○ |
光軸/倍率補正 | ○ |
両面観察、画像ファイリング | ○ |
両面映像動画記録 | ○ |
両面映像重ね合わせ表示 | ○ |
位置ずれ手動計測/自動計測 | ○/△オプション |
微小寸法手動計測/自動計測 | ○/△オプション |
段差計測 | △オプション |
厚み計測 | × |
測定精度
測定精度 | 表裏位置ずれ計測:±1μm |
測定精度はサンプルの種類や状態により変わります。