日本電子株式会社 走査電子顕微鏡 (JSM-IT200)

すぐ観察!すぐ分析!すぐ報告!分析装置がツールに変わる

JSM-IT200は、上位機種であるJSM-IT500の機能をよりシンプルに、使いやすくしたコストパフォーマンス重視の走査電子顕微鏡です。

製品名
走査電子顕微鏡
型番
JSM-IT200
価格
10,000,000円〜
発売日
発売中
  • 走査電子顕微鏡
  • 走査電子顕微鏡

走査電子顕微鏡の特長

1. 試料交換と同時に観察開始 試料交換ナビ

試料交換ナビは、試料室を開けるところから観察開始までナビゲーションを行う機能です。

 

2. すぐ観察! Zeromag 観察

メイン画面に表示したホルダーグラフィックや光学CCD画像*1を使って、視野探しや分析位置の指定が行えます。

*1 CCD画像撮影にはSNS (オプション) が必要です。

3. すぐ分析! Live Analysis 分析*2

スペクトル表示と元素表示で、観察中の視野のスペクトルと主元素を確認できます。

*2 LA (Low Vacuum & Analysis)に適用されます

4. すぐ報告!SMILE VIEWTM Lab データ 一元管理

データ管理アイコンを押してデータ管理画面を表示すると、SEM像から分析まで全データのレポート一括作成、データの見直し、データの再解析が行えます。

 

仕様

 分解能

 高真空モード :3nm(30kV)、8nm(3kV)、15nm(1kV)

 低真空モード :4nm  (30kV BED)

 倍率

 ×5 ~ ×300,000 (画像サイズ128mm×96mmにて)

 低真空圧力

 10 ~ 100Pa

 加速電圧

 0.5  〜 30kV

 試料ステージ

 ユーセントリックステージ

 X:80mm、Y:40mm、Z:5 ~ 48mm、傾斜:-10° ~ +90°、回転:360°

 最大試料寸法 150mm径 ×48mm高さ

 


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出展企業情報

企業名
日本電子株式会社
日本電子株式会社
企業PR
高級精密理科学機器(電子光学機器・分析機器)、計測検査機器、半導体関連機器、産業機器、医用機器の製造 ・ 販売 ・ 開発研究、およびそれに附帯する製品 ・ 部品の加工委託、保守 ・ サービス、周辺機器の仕入 ・ 販売