すぐ観察!すぐ分析!すぐ報告!分析装置がツールに変わる
JSM-IT200は、上位機種であるJSM-IT500の機能をよりシンプルに、使いやすくしたコストパフォーマンス重視の走査電子顕微鏡です。
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JSM-IT200は、上位機種であるJSM-IT500の機能をよりシンプルに、使いやすくしたコストパフォーマンス重視の走査電子顕微鏡です。
試料交換ナビは、試料室を開けるところから観察開始までナビゲーションを行う機能です。
メイン画面に表示したホルダーグラフィックや光学CCD画像*1を使って、視野探しや分析位置の指定が行えます。
*1 CCD画像撮影にはSNS (オプション) が必要です。
スペクトル表示と元素表示で、観察中の視野のスペクトルと主元素を確認できます。
*2 LA (Low Vacuum & Analysis)に適用されます
データ管理アイコンを押してデータ管理画面を表示すると、SEM像から分析まで全データのレポート一括作成、データの見直し、データの再解析が行えます。
分解能 | 高真空モード :3nm(30kV)、8nm(3kV)、15nm(1kV) 低真空モード :4nm (30kV BED) |
倍率 | ×5 ~ ×300,000 (画像サイズ128mm×96mmにて) |
低真空圧力 | 10 ~ 100Pa |
加速電圧 | 0.5 〜 30kV |
試料ステージ | ユーセントリックステージ X:80mm、Y:40mm、Z:5 ~ 48mm、傾斜:-10° ~ +90°、回転:360° |
最大試料寸法 | 150mm径 ×48mm高さ |