走査電子顕微鏡

■視野探しを容易にするZeromag
■観察中も常に元素分析結果が表示されるLive Analysis
■データを一元管理できるSMILE VIEW Lab
■安全・簡単！　試料交換ナビ
（代理店：日本電計㈱と共同出展）

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走査電子顕微鏡の特長

高倍率観察までスムーズに！

光学CCD画像とSEM画像の境界を意識せず、Borderless に操作できるため、作業効率が大幅に向上します。

Zeromagから広範囲の観察とEDS分析が簡単に自動で行えます。

Zeromag上でモンタージュ設定

モンタージュ結果4×4　（左：反射電子組成像　右：Ca元素マップ）

試料：コンクリート加速電圧：15kV

高真空モード撮影範囲：約4mm×3mm

Zeromagにより、全体像が把握できる広領域モンタージュの視野選択が容易に行えます。モンタージュは破面解析や広領域の異物の把握など、広い領域に対して細かい情報が必要なときに便利な機能です。

Live Analysisは、観察している領域のEDS分析を常に観察画面上で行う機能です。
予期しない元素や注目元素を「見つける」「気づける」確率の向上が期待できます。

①元素表示測定視野中に存在する主元素を表示します。元素を指定してアラートを表示することもできます。

②スペクトル表示測定視野の特性X 線スペクトルと自動定性分析結果を常時表示します。

③ワンクリックで電子顕微鏡操作画面と分析詳細表示画面を切り替えられます。

SMILE VIEW™ Labは、ステージ位置に連動したCCD画像、SEM画像、EDS分析結果等のデータを一元管理し、短時間でレポートを作成できるデータマネージャーです。過去に取得したデータの見直しや再解析、レポートへの展開も簡単に行うことができます。

①各視野の名称が表示されます。

②試料の名前、作成日時、データ種別等からデータを検索することができます。

③ホルダーグラフィックまたはCCD画像上に、各視野の位置を表示します。

④選択した視野の元素マップ、スペクトル等のデータや定量分析結果が一覧表示されます。

仕様

分解能	高真空モード：3nm（30kV）、15nm(1kV) 　低真空モード*1：4nm（30kV BED)
写真倍率　表示倍率	×5　～　×300,000　（画像サイズ128mm×96mmにて） ×14 ～ ×839,724 　（モニタ上 358mm×269mmを表示サイズとして）
加速電圧	0.3　～　30kV
低真空圧力　*1	10　～　650Pa
最大試料寸法	200 mm径×75 mm高さ　200 mm径×80 mm高さ　※オプション　32 mm径×90 mm高さ　※オプション
試料ステージ	大形ユーセントリック式　X：125 mm　Y：100 mm　Z：80 mm 　傾斜：－10～90°　回転：360°