in-situ ナノインデンテーションのマーケットリーダー
NMT04 ナノメカニカルテストシステムは、in-situ SEM/FIB ナノインデンテーション技術の最先端にあります。FemtoTools 独自の MEMS 技術を活用し、マイクロおよびナノスケールの材料分析で卓越した精度を実現します。
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社 NMT04 (NMT04)
NMT04の特長
主要な機能
比類なきダイナミックレンジ
マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）ベースの力センサーは、極めて小さな可動質量と高い剛性により、最大 100 kHz という比類なきダイナミックレンジを実現しています。さらに、MEMS の精密な製造公差により、ノイズフロアを 500 pN まで低減することが可能です。
共鳴周波数：最大 100 kHz
強制ノイズフロア：500pN まで低減
真の変位制御
変位制御型ナノインデンテーションは、一貫したインデンテーション深度における機械的性質の測定と比較に不可欠であり、等しい材料体積の評価を保証します。
コントロールモード：本質的に変位制御
オープン測定フレーム
NMT04 は、SEM 内部の電子後方散乱回折（EBSD）または走査型透過電子顕微鏡（STEM）検出器とシームレスに動作するように特別に設計されています。そのオープンな測定フレームにより、機械試験中に試料の微細構造の変化を同時に観察・分析することが可能です。
主要な機能
比類なきダイナミックレンジ
マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）ベースの力センサーは、極めて小さな可動質量と高い剛性により、最大 100 kHz という比類なきダイナミックレンジを実現しています。さらに、MEMS の精密な製造公差により、ノイズフロアを 500 pN まで低減することが可能です。
共鳴周波数：最大 100 kHz
強制ノイズフロア：500pN まで低減
真の変位制御
変位制御型ナノインデンテーションは、一貫したインデンテーション深度における機械的性質の測定と比較に不可欠であり、等しい材料体積の評価を保証します。
コントロールモード：本質的に変位制御
オープン測定フレーム
NMT04 は、SEM 内部の電子後方散乱回折（EBSD）または走査型透過電子顕微鏡（STEM）検出器とシームレスに動作するように特別に設計されています。そのオープンな測定フレームにより、機械試験中に試料の微細構造の変化を同時に観察・分析することが可能です。
NMT04の資料ダウンロード
NMT04の関連タグ
Contact NMT04に関するお問い合わせ
出展企業情報
- 企業PR
- オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社 は、Oxford Instruments plc が日本における事業推進を目的として設立した日本法人です。 当社の体制は、EDS/EDX に代表される電子顕微鏡関連分析機器、共焦点顕微鏡・科学用カメラ・分光器、原子間力顕微鏡（AFM）、ラマン顕微鏡、NMR 分析装置を扱うイメージング＆アナリシス事業部、半導体製造向け ALD/ALE を扱うプラズマテクノロジー事業部、MRI メーカー向けにフィールドサービスを提供する MRI 事業部、そして当社製品の活用を支援する Oi サービス本部によって構成されています。
