世界最高分解能のナノインデンター
i04 Femto-Indenter は、マイクロおよびナノスケールで材料の機械的およびトライボロジー的特性を正確に定量できる高解像度なナノメカニカルテストシステムです。
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社 i04 (i04)
i04の特長
主要な機能
比類なきダイナミックレンジ
マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）をベースとした力センサーは、極めて小さい可動質量と高い剛性により、最大 100 kHz という比類ないダイナミックレンジを実現します。さらに、MEMS の精密な製造公差によりノイズフロアを 500 pN まで低減することが可能です。
共鳴周波数：最大 100 kHz
強制ノイズフロア：500pN まで低減
最高解像度
ナノインデンターの重要な品質指標の一つは、押込み深さをどれだけ正確に測定できるかです。この性能は、変位センサーのノイズフロア（実質的な分解能）によって限界が決まります。
当社の FT-I04 フェムト・インデンターは、50 pm未満という比類ないノイズフロアを実現しており、非常に浅い深さの測定でも優れた結果を出します。本例ではわずか5 nmの深さで石英ガラスに圧痕をつけましたが、高い再現性を持つ圧痕曲線を得ることができました。
位相シフトノイズフロア：50 pm 未満
真の変位制御
一貫した深さで機械的特性を測定・比較するには、変位を制御しながらナノインデンテーションを行うことが不可欠です。その結果、常に同じ体積の材料を測定することができます。
制御モード：自然変位制御
主要な機能
比類なきダイナミックレンジ
マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）をベースとした力センサーは、極めて小さい可動質量と高い剛性により、最大 100 kHz という比類ないダイナミックレンジを実現します。さらに、MEMS の精密な製造公差によりノイズフロアを 500 pN まで低減することが可能です。
共鳴周波数：最大 100 kHz
強制ノイズフロア：500pN まで低減
最高解像度
ナノインデンターの重要な品質指標の一つは、押込み深さをどれだけ正確に測定できるかです。この性能は、変位センサーのノイズフロア（実質的な分解能）によって限界が決まります。
当社の FT-I04 フェムト・インデンターは、50 pm未満という比類ないノイズフロアを実現しており、非常に浅い深さの測定でも優れた結果を出します。本例ではわずか5 nmの深さで石英ガラスに圧痕をつけましたが、高い再現性を持つ圧痕曲線を得ることができました。
位相シフトノイズフロア：50 pm 未満
真の変位制御
一貫した深さで機械的特性を測定・比較するには、変位を制御しながらナノインデンテーションを行うことが不可欠です。その結果、常に同じ体積の材料を測定することができます。
制御モード：自然変位制御
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出展企業情報
- 企業PR
- オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社 は、Oxford Instruments plc が日本における事業推進を目的として設立した日本法人です。 当社の体制は、EDS/EDX に代表される電子顕微鏡関連分析機器、共焦点顕微鏡・科学用カメラ・分光器、原子間力顕微鏡（AFM）、ラマン顕微鏡、NMR 分析装置を扱うイメージング＆アナリシス事業部、半導体製造向け ALD/ALE を扱うプラズマテクノロジー事業部、MRI メーカー向けにフィールドサービスを提供する MRI 事業部、そして当社製品の活用を支援する Oi サービス本部によって構成されています。
