表裏(両面)の位置ずれ／寸法／計測 両面測定顕微鏡。 高精度、低価格化を実現。
水晶振動子、ＭＥＭＳ、インクジェットノズル、半導体電子部品などの検査に！ 表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能！ 表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正！ ±0.2μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定！（条件により異なる） 装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能！
株式会社フローベル コンパクトタイプ 両面顕微鏡 (表裏位置ずれ計測システム AF:オプション) (TOMOS-50)
コンパクトタイプ 両面顕微鏡 (表裏位置ずれ計測システム AF:オプション)の特長
【用途】
【観察】
電子ペーパーの電気泳動、粒子、流体、
フィルターなどの表裏同時観察
■落射、透過、落射＋透過照明で撮影が可能
■両面同時観察、画像ファイリング、動画記録
【表裏位置ずれ計測】
インクジェットノズル、水晶振動子、
ＭＥＭＳなどの表裏位置ずれ計測
【表裏寸法計測】水晶振動子、半導体線幅パターンなどの表裏寸法計測
■両面同時に寸法計測
■測定個人差の無い自動計測が可能
測定可能内容
光学系
正立、倒立
対物レンズ
5、10、20、50倍から選択
粗微動調整
正立、倒立（手動）
XY可動範囲
100mm × 100mm
照明
白色LED照明（変更可）
正立、倒立（ソフト制御）
カメラ
正立、倒立 2個
センサー
1/1.8型CMOSモノクロ（カラー可）
画素数
300万画素
映像出力
CameraLink
制御部（PC）
Windows10
モニター
縦型液晶モニター、2カメラ映像表示
ソフト機能
表裏光軸補正機能
表裏同時撮影、ファイリング
表裏合成表示
表裏寸法手動計測
表裏寸法自動計測（オプション）
表裏位置ずれ手動計測
表裏位置ずれ自動計測（オプション）
【組込用】
装置(自動機)組み込み用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能！
【用途】
【観察】
電子ペーパーの電気泳動、粒子、流体、
フィルターなどの表裏同時観察
■落射、透過、落射＋透過照明で撮影が可能
■両面同時観察、画像ファイリング、動画記録
【表裏位置ずれ計測】
インクジェットノズル、水晶振動子、
ＭＥＭＳなどの表裏位置ずれ計測
【表裏寸法計測】
水晶振動子、半導体線幅パターンなどの表裏寸法計測
■両面同時に寸法計測
■測定個人差の無い自動計測が可能
測定可能内容
光学系 | 正立、倒立 |
対物レンズ | 5、10、20、50倍から選択 |
粗微動調整 | 正立、倒立（手動） |
XY可動範囲 | 100mm × 100mm |
照明 | 白色LED照明（変更可） |
カメラ | 正立、倒立 2個 |
センサー | 1/1.8型CMOSモノクロ（カラー可） |
画素数 | 300万画素 |
映像出力 | CameraLink |
制御部（PC） | Windows10 |
モニター | 縦型液晶モニター、2カメラ映像表示 |
ソフト機能 | 表裏光軸補正機能 |
【組込用】
装置(自動機)組み込み用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能！
コンパクトタイプ 両面顕微鏡 (表裏位置ずれ計測システム AF:オプション)の資料ダウンロード
Contact
コンパクトタイプ 両面顕微鏡 (表裏位置ずれ計測システム AF:オプション)に関するお問い合わせ
出展企業情報
- 企業名
-
株式会社フローベル
- 企業PR
- "人間の目を超える超最先端カメラの開発メーカーです。 1975年に設立された当社は、計測用ビデオ機器の開発・製造・販売からスタートし、 顕微鏡用カメラ、内視鏡立体カメラシステム等、 他社にない革新的な産業機器用の各種カメラを開発・製造・販売をしている会社です。 近年では超高感度カメラを開発し、 第71回(2020年)エミー賞(ANNUAL TECHNOLOGY & ENGINEERING EMMYR AWARDS) を受賞いたしました。 フローベルの超高感度カメラは宇宙・深海・監視・医療まで幅広く使われ、 引き続き「見えないものを見えるようにする」との企業コンセプトのもと、 ソフト・ハードを組み合わせた最先端の研究開発型企業として 監視系、医療系、FA系、スポーツ系、インタラクティブ系等々幅広い分野で 社会のお役に立てる「もの造り」に取り組んでまいります"
