【ニコン】CNC画像測定システム

NEXIV VMZ-Sシリーズは、従来機種のNEXIV VMZ-Rシリーズの精度を維持しながら、更なる高スループット化を実現しました。

近年、自動車業界では、自動運転やEV市場拡大を背景に電装化が急速に進み、自動車に使用される電子、半導体部品が増加しています。人々の命に関わるため、搭載される部品には厳格な品質管理が求められ、測定機器への期待は大きくなっています。ニコンは、車載向け電子、半導体部品などの測定用途に最適なCNC画像測定システム「NEXIV VMZ-S」シリーズを提供します。

製品名: 【ニコン】CNC画像測定システム

型番: NEXIV VMZ-S3020

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発売日: 発売中

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【ニコン】CNC画像測定システムの特長

1．高スループット

「NEXIV VMZ-S3020」は、高精度リニアエンコーダと精密動作ステージによる高い測定精度を発揮しながら、ステージ移動と画像処理の高速化により、従来機種「NEXIV VMZ-R」シリーズと比べて更なる高スループット化を実現。お客様から定評があった精度や再現性を損なわずに、測定タクトタイムの短縮を可能にしました。

2. 高品質画像、高精度測定

歪みがない高品質画像により、視野内の中心付近でなくても信頼性の高い測定結果が得られます。
また、被検物の形状に応じて垂直落射照明、透過照明、8分割リング照明の選択や、光量・照射方向を最適化することにより、検出の難しいエッジもシャープに捉えることができます。さらに、1000点/秒の高速レーザースキャンにより、被検物の断面形状を取得、高さ方向の形状評価にも対応します。多種多様な部品の測定ニーズに応えます。

3. 優れたユーザビリティ

シリーズ共通の寸法測定ソフトウエア「NEXIV AutoMeasure」により、快適かつ効率的に寸法測定を行えます。また、単純形状を対象に、測定プログラムの作成工程の一部を自動化する機能を追加しました。
さらに、ステージや測定ヘッドの移動を操作するジョイスティックユニットは、NEXIVシリーズをご使用のお客様の要望に応え、より使いやすいデザインに一新しました。

測定対象

パッケージ、プリント基板、プレス部品、プローブカード、コネクタ、高密度基板

測定例


コネクタ	プラスチックギヤ	PGA

NEXIV VMZ-S3020　仕様

本体部
ストローク（X×Y×Z）		300×200×200mm
最小表示単位		0.01μm
被検物最大質量		20kg
測定精度
	EUX,MPE EUY,MPE	1.2 + 4L/1000 μm
	MPE PF2D MPE PFV2D	最大許容プロービング誤差 1）,2） 0.8 μm, 0.3 μm 最大許容プローブプロービング誤差 1）,2）
レーザー繰り返し精度1）,3）		2 σ≦0.5 μm
カメラ		白黒1/3型CMOS カラー1/3型CMOS
作動距離		50mm( Type1 ~ 3 )30㎜( type4)高倍：11 mm/低倍：32 mm( typeTZ）73.5 mm（ﾚｰｻﾞｰAF部63 mm）
倍率／視野
	タイプ1	光学倍率 0.5～7.5× 総合倍率 18～270× 視野 9.33×7.01～0.622×0.467mm
	タイプ2	光学倍率 1～15× 総合倍率 36～540× 視野 4.7×3.5～0.311×0.233mm
	タイプ3	光学倍率 2～30× 総合倍率 72～1080× 視野 2.33×1.75～0.155×0.117mm
オートフォーカス		TTLレーザAF／イメージAF
照明		タイプ1～4：垂直落射、透過、8分割リング照明（全系統白色LED光源/タイプ1, 2, 3は3角度、タイプ4は1角度）タイプTZ：垂直落射、透過（VMZ-S3020の低倍側を除く）、暗視野照明タイプA：垂直落射、透過、8分割リング照明（全系統白色LED光源/1角度）
供給電源		AC100 V-240 V、50/60 Hz
消費電流		4A - 2A
寸法（W×D×H）/質量

	本体＋測定台	700 x 730 x 1793 mm / 約265 kg
	コントローラ	190 x 450 x 450 mm / 12kg
設置寸法（W×D）		2100×1100mm