自動位置決め機能により、焦点を自動的に合わせることができ、測定スループットが格段に向上しました。
X線を金属薄膜に当てると、試料を構成する元素に応じた蛍光X線が放出されます。各元素由来の蛍光X線の強度比から金属薄膜の膜厚を知ることができます。めっき膜の厚さ測定などに使われます。 （代理店：日本電計株式会社と共同出展）
株式会社 日立ハイテクアナリシス 蛍光X線膜厚計 (FT110A)
蛍光X線膜厚計の特長
1. 試料を置くだけで測定可能
自動位置決め機能により、サンプルを置くだけで、数秒以内に
試料観察光学系のフォーカスを合わせます。
2. 50nmの薄金メッキの膜厚を10秒で測定
最適レイアウトで微小ビームの高感度化を実現し、微小コリメータ（φ0.1、0.2mm）での
膜厚測定精度が向上しました。
3. 標準試料なしの測定が可能
薄膜FPソフト拡充により、厚み標準物質なしでも測定が可能です。
多層膜や合金膜の測定が簡単に行えます。
4. 広域観察システムによる簡単位置決め
広域観察システムにより、試料全体像（最大250×200mm）
を観察し、特定部の測定位置を容易に指定することができます。
蛍光X線膜厚計 (FT110A) 仕様
測定元素：原子番号22（Ti）～83（Bi）
検出器 ：比例計数管
コリメータ ：標準 φ0.1mm、φ0.2mm
オプション φ0.05mm、0.025×0.4mm
膜厚測定ソフト ：薄膜FP法、検量線法
お見積り・ご質問等、お気軽にお問合せ下さい。
1. 試料を置くだけで測定可能
自動位置決め機能により、サンプルを置くだけで、数秒以内に 試料観察光学系のフォーカスを合わせます。 |
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2. 50nmの薄金メッキの膜厚を10秒で測定
最適レイアウトで微小ビームの高感度化を実現し、微小コリメータ（φ0.1、0.2mm）での
膜厚測定精度が向上しました。
3. 標準試料なしの測定が可能
薄膜FPソフト拡充により、厚み標準物質なしでも測定が可能です。
多層膜や合金膜の測定が簡単に行えます。
4. 広域観察システムによる簡単位置決め
広域観察システムにより、試料全体像（最大250×200mm） を観察し、特定部の測定位置を容易に指定することができます。 | |
蛍光X線膜厚計 (FT110A) 仕様
| 測定元素 | ：原子番号22（Ti）～83（Bi） |
| 検出器 | ：比例計数管 |
| コリメータ | ：標準 φ0.1mm、φ0.2mm オプション φ0.05mm、0.025×0.4mm |
| 膜厚測定ソフト | ：薄膜FP法、検量線法 |
お見積り・ご質問等、お気軽にお問合せ下さい。 |
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Contact
蛍光X線膜厚計に関するお問い合わせ
出展企業情報
- 企業名
-
株式会社 日立ハイテクアナリシス
- 企業PR
- 分析・計測・観察装置の、開発、製造、販売。（2013年1月1日より、エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社から社名変更いたしました）
