ハンディAFM（原子間力顕微鏡）

⾮破壊でナノメートル以下迄の３次元測定を可能にする超⼩型AFM

SEM や旧来のAFM に変わる次世代のAFM。測定ワークにダメージを与えず、正確な3次元測定がスキル無しで可能になりました。

製品名: ハンディAFM（原子間力顕微鏡）

型番: AFM

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発売日: 発売中

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ハンディAFM（原子間力顕微鏡）の特長

原子間力顕微鏡

ハンディAFM

　製品概要
　装置仕様
　アプリケーション
　測定検査例

ハンディAFM（原子間力顕微鏡）　の製品概要

⾮破壊でナノメートル以下迄の３次元測定を可能にする超⼩型AFM

奥行き幅、共に１５ｃｍの超小型ＡＦＭで、何処にでも連れて行けます。操作もノートＰＣから全て行えます。高倍率の光学顕微鏡の変わりに使用できます。プローブの交換も数秒です、交換後の調整は全く必要有りません。また、カーボンナノチューブプローブもオートアプローチが可能です。一般にＡＦＭで使用されているピエゾの持つ、非線形クリープ、経年変化は有りません。オプションで、小型の自動ステージとの組み合わせも可能です。

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ハンディAFM（原子間力顕微鏡）　の装置仕様

☆ 走査ヘッド	高分解能型	広域走査型
☆ 最大走査レンジ	10μm	110μm
☆ 最大Zレンジ	1.8μm	22μm
☆ Z方向分解能	0.027nm ※1	0.34nm ※1
☆ XY方向分解能	0.15nm ※1	1.7nm ※1
☆ 非線形性	<0.6%	<0.6%
☆ Z　ノイズレベル	0.04nm	0.3nm

　　　※1　：分解能は16ビット分割による計算値
　　　オプション装着時は測定レンジが400μm、Zレンジが100μmプラスされます。

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アプリケーション

・微細線幅測定	・高精度金型の表面解析
・マスクパターンの測定	・光学部品の評価
・研磨、ラッピングの評価	・ハードディスクの磁気フィールドの観察
・薄膜の段差測定	・ DVDピットやスタンパー検査
・成膜時の連続、不連続判定	・量子ドットの測定
	・フィルムの表面検査

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測定検査例

ソーラーセル	炭化珪素薄膜	量子ドット


シリコンウエハ	プローブ痕	ＩＣパターン

　お見積り・ご質問等、お気軽にお問合せ下さい。

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ハンディAFM
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出展企業情報

企業名: ソフトワークス株式会社

企業PR: 現在のシステムをさらなるニーズで進化させます。私達ソフトワークスは、テーマ＝条件に対し、解決法＝画像処理ソフト開発を考えます。照明などの光学系や機械系の検討から初め、機械系とのインターフェイス、技術系コンサルタントから具体的な画像処理ソフトの開発までを手がけます。 ■開発事例／ワイヤボンディングの外観自動検査、半導体インマーク自動認識装置、X線によるLiイオン電池内部自動検査装置、半導パターンの欠陥検査装置、半導体ウェハのエッジ外観検査装置、液晶パターンの欠陥検査装置

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