Glossary 用語集(FE-SEM)

FE-SEM

  • 電界放射型の電子源を持った走査型電子顕微鏡。熱電子放出型に比べて高分解能の観察が可能である。=電界放射型走査電子顕微鏡、フィールドエミッションSEM。

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