Glossary 用語集(AES)
AES
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【Auger Electron Spectroscopy】オージェ電子分光法は、電子線照射により放出されるオージェ電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面(数nm程度の深さ)に存在する元素の種類・存在量に関する知見を得る手法である。
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【Auger Electron Spectroscopy】オージェ電子分光法は、電子線照射により放出されるオージェ電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面(数nm程度の深さ)に存在する元素の種類・存在量に関する知見を得る手法である。