Glossary 用語集(ESCA)
ESCA
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【Electron spectroscopy for chemical analysis】X線光電子分光法。単一エネルギーのX線を照射し、発生する光電子のエネルギースペクトルを測定する方法。極表面の元素分析ができる。またピークシフトより元素の化学状態についての情報も得られる(金属か酸化物かなど)。近年は一般的にはXPS(X線光電子分光法)と呼ばれるが、化学状態分析のできる光電子分光法という意味でESCA(エスカ)とも呼ばれる。