Glossary 用語集(MOEMS)

MOEMS

  • 【Micro Opto Electro Mechanical Systems】MEMS技術に光学的な部品を加えたもの。例:超小型電磁式駆動レーザー走査型MEMSミラー⇒携帯型プロジェクター、光干渉計+赤外線選出素子=超小型フーリエ変換型赤外分光器用光半導体素子、多機能光半導体素子など

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