Glossary 用語集(ウェハープローバ)

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ウェハープローバ

  • LSI（半導体集積回路）の製造工程で、ウェハー上に多数個のLSIの形成が完成した段階でウェーハを個々のLSIチップに切り離す前に全数行う機能テスト（ウェハテスト）に用いられ、主検査装置であるLSIテスタと被検査LSIチップとをプローブカードを介して電気的につなぐ目的で用いる電気的機械的接続治具である。

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