Glossary 用語集(EPMA)
EPMA
-
電子線マイクロアナリシス。加速した電子戦を物質に照射したときに発生する特性X線を検出することにより、電子線が照射されている微小部分の構成元素の種類とそ比率を分析する装置。
Menu
電子線マイクロアナリシス。加速した電子戦を物質に照射したときに発生する特性X線を検出することにより、電子線が照射されている微小部分の構成元素の種類とそ比率を分析する装置。