Glossary 用語集(走査型プローブ顕微鏡)

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走査型プローブ顕微鏡

  • ＝SPM。微細な探針（プローブ）と試料間にはたらくさまざまな物理量を検出し、微細領域の表面形状や物性を測定する顕微鏡の総称。トンネル顕微鏡（STM）、原子間力顕微鏡（AFM）などがある。

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