Glossary 用語集(SEM)

SEM

  • 走査型電子顕微鏡。細く絞った電子ビームを二次元的に固体表面に照射し、各点からの信号(二次電子、反射電子、透過電子、X線、カソードルミネッセンス、内部起電力)を情報として取り出し、走査に同期した表示装置上に画像として再生する顕微鏡。

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