離れた場所から高精度変位測定可能 ０～１５０ｍｍまでの位置を波長掃引干渉法で測定
新光源・新干渉法（波長掃引干渉法）の採用。粗面からの散乱光を利用して測定を行うため、 ミラーやコーナーキューブが不要。直接反射で測定できます。
株式会社東京精密 非接触変位センサ (Opt-measure)
非接触変位センサの特長
製品特長
１．多点モニタリング
１６ＣＨのセンサを標準装備。
センサとコントローラ間のケーブルは最大１，０００ｍまで延長可能。
実験装置の多点の変位を測定する目的に最適です。
２．高精度
新干渉法（波長掃引干渉法）の採用により、直線性±１μm、繰り返し精度（２σ）０．１μｍを実現。
３．低温度ドリフト
温度安定化光学ユニットにより、温度ドリフトを抑制。
２０～３０℃の現場環境で高い精度を実現。
±０．９μｍ＠２５±５℃
４．耐環境・極小センサヘッド
電子部品を一切含まない極小センサヘッドにより、放射線環境下や強磁場、電磁ノイズ環境下でも安定した測定が可能です。
製品特長
１．多点モニタリング
１６ＣＨのセンサを標準装備。
センサとコントローラ間のケーブルは最大１，０００ｍまで延長可能。
実験装置の多点の変位を測定する目的に最適です。
２．高精度
新干渉法（波長掃引干渉法）の採用により、直線性±１μm、繰り返し精度（２σ）０．１μｍを実現。
３．低温度ドリフト
温度安定化光学ユニットにより、温度ドリフトを抑制。
２０～３０℃の現場環境で高い精度を実現。
±０．９μｍ＠２５±５℃
４．耐環境・極小センサヘッド
電子部品を一切含まない極小センサヘッドにより、放射線環境下や強磁場、電磁ノイズ環境下でも安定した測定が可能です。
非接触変位センサの関連タグ
Contact 非接触変位センサに関するお問い合わせ
出展企業情報
- 企業名
-
株式会社東京精密
- 企業PR
- 「 計測で未来を測り、半導体で未来を創る 」 1949年、精密機器事業からスタートした当社グループはこれまで、高い計測技術を搭載した精密測定機器を産業界に提供してきました。 半導体製造装置事業においても、国内初のウェーハスライシングマシンを市場に投入以来、求められる高度な微細化と3D、高効率化への対応に計測技術が活かされ、「計測事業を持つ唯一の半導体装置メーカー」という特徴は当社グループの強みの源泉となっています。
