光ファイバ採用により干渉計と反射鏡の位置調整が簡単 ２つのユニットの位置調整でＯＫ
従来のセッティングでは、レーザー光源、干渉計、反射鏡の３つのユニットの位置調整が必要でしたが、光ファイバ結合式レーザー干渉測長器ＤＩＳＴＡＸは、干渉計と反射鏡の２つのユニットの位置調整でセッティングが可能。セッティングの容易さに加え、取り回しの良さも大幅に向上しております。
株式会社東京精密 光ファイバ結合式レーザー干渉測長器 (DISTAX)
光ファイバ結合式レーザー干渉測長器の特長
さまざまなアプリケーション
ヨーイング・ピッチング測定例
角度測定干渉計では、反射鏡（デュアルコーナーキューブ）の微小な傾きを測定し、ステージの移動に伴う、ヨーイング・ピッチング量を測定することが可能です。
2軸同時測定例
DISTAXでは一つの光源に最大 2つの干渉計を取り付け可能です。例えば、長さ測定干渉計と角度測定干渉計を組み合わせることで正確な位置決めを実現しながらの角度変化を測定することが可能です。
工作機械検査向けピッチ測定画面例
工作機械と連携を行い、各種測定を実行する工作機械向けのソフトウェアを準備しております。
軸長や補正タイプなど、機種と可動軸の情報を一元的な管理が可能です。
ソフトウェアは、NC誤差補正、ISO規格測定、速度測定、角度測定に対応（オプション設定あり）
NCとの連携時は測定のフローを作成することでオペレータ不在で測定が完了します。
NC補正はNCに応じた補正計算の他に、通信によりNCへ自動で補正値を入力することが可能です。
ISO規格測定では貿易管理に必要なISO 230-2:1988年式及び2014年式の測定、帳票印刷をサポート。
さまざまなアプリケーション
ヨーイング・ピッチング測定例
角度測定干渉計では、反射鏡（デュアルコーナーキューブ）の微小な傾きを測定し、ステージの移動に伴う、ヨーイング・ピッチング量を測定することが可能です。
2軸同時測定例
DISTAXでは一つの光源に最大 2つの干渉計を取り付け可能です。例えば、長さ測定干渉計と角度測定干渉計を組み合わせることで正確な位置決めを実現しながらの角度変化を測定することが可能です。
工作機械検査向けピッチ測定画面例
工作機械と連携を行い、各種測定を実行する工作機械向けのソフトウェアを準備しております。
軸長や補正タイプなど、機種と可動軸の情報を一元的な管理が可能です。
ソフトウェアは、NC誤差補正、ISO規格測定、速度測定、角度測定に対応（オプション設定あり）
NCとの連携時は測定のフローを作成することでオペレータ不在で測定が完了します。
NC補正はNCに応じた補正計算の他に、通信によりNCへ自動で補正値を入力することが可能です。
ISO規格測定では貿易管理に必要なISO 230-2:1988年式及び2014年式の測定、帳票印刷をサポート。
光ファイバ結合式レーザー干渉測長器の関連タグ
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出展企業情報
- 企業名
-
株式会社東京精密
- 企業PR
- 「 計測で未来を測り、半導体で未来を創る 」 1949年、精密機器事業からスタートした当社グループはこれまで、高い計測技術を搭載した精密測定機器を産業界に提供してきました。 半導体製造装置事業においても、国内初のウェーハスライシングマシンを市場に投入以来、求められる高度な微細化と3D、高効率化への対応に計測技術が活かされ、「計測事業を持つ唯一の半導体装置メーカー」という特徴は当社グループの強みの源泉となっています。
