株式会社東京精密 計測用X線CT装置 (ZEISS METROTOM 1500)

欠陥解析だけでなく、寸法・形状・幾何公差も計測できる広範囲・高精度・高画質の次世代X線CT装置

三次元座標測定機で培われた各軸の制御技術と超高精度位置決めステージ、高解像度フラットパネルディテクタ、ソフトウェアを採用するなど、これまでの観察用X線CT装置とは一線を画し、構造解析、機能検査、欠陥解析等の非破壊検査、樹脂成形部品やアルミダイカスト等、複雑な工業製品の内部形状の構造比較や内外寸法の高精度な計測まで、幅広く最適なソリューションを提案します。

製品名
計測用X線CT装置
型番
ZEISS METROTOM 1500
価格
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発売日
発売中
  • 計測用X線CT装置
  • 計測用X線CT装置

計測用X線CT装置の特長

形状比較(樹脂成形品)

3DCADモデルとの寸法誤差を3Dカラーマップ表示をし、視覚的な評価を可能にします。

寸法測定・幾何公差評価(コネクタ)

GOM Volume Inspect Pro(標準)/Calypso CT(option)による直感的な操作で寸法評価が可能。測定精度はドイツ工業規格VDI/VDEに準拠し、精度を保証します。PMI付3DCADモデルがあればプログラミング工数の削減も可能です。

非破壊検査・内部観察(アルミ材)

アルミダイカストや鋳物の巣や樹脂成形品の気泡や
クラックの確認、組立品の内部や任意の切断面の
検査が可能です。

最大撮像範囲 Φ615mm×h800mm
  (ボリューム結合とVHDopition使用時)
最大ワーク積載質量 50kg


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出展企業情報

企業名
株式会社東京精密
株式会社東京精密
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「 計測で未来を測り、半導体で未来を創る 」 1949年、精密機器事業からスタートした当社グループはこれまで、高い計測技術を搭載した精密測定機器を産業界に提供してきました。 半導体製造装置事業においても、国内初のウェーハスライシングマシンを市場に投入以来、求められる高度な微細化と3D、高効率化への対応に計測技術が活かされ、「計測事業を持つ唯一の半導体装置メーカー」という特徴は当社グループの強みの源泉となっています。