クリーンルーム・クリーン環境に存在する落下塵を測定できる計測器
クリーンルーム内で製品に付着して不良の原因となるゴミ・異物は粗大粒子と言われる落下粒子です。この粗大粒子はゆっくりと落下し環境に堆積する特徴があります。 落下塵カウンターはこの粗大粒子を測定する特殊計測器です。 パーティクルカウンターとは異なり、検体を使用し落下してくるゴミ・異物を確実にサンプリングします。ISO14644-9準拠 ISO14644-17 PDRを算出する事が可能です。
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クリーンルーム内で製品に付着して不良の原因となるゴミ・異物は粗大粒子と言われる落下粒子です。この粗大粒子はゆっくりと落下し環境に堆積する特徴があります。 落下塵カウンターはこの粗大粒子を測定する特殊計測器です。 パーティクルカウンターとは異なり、検体を使用し落下してくるゴミ・異物を確実にサンプリングします。ISO14644-9準拠 ISO14644-17 PDRを算出する事が可能です。