サブナノ粗さからミリ形状まで ３D白色干渉顕微鏡
［ 高分解能・高速・広範囲 ］ ０．０１nmの高分解能で高速測定。狭い範囲の微細粗さから、 広範囲のうねり形状解析まで、幅広く応用が可能。
株式会社東京精密 非接触三次元表面粗さ・形状測定機 (Opt-scope)
非接触三次元表面粗さ・形状測定機の特長
白色干渉方式だから短時間で測定完了
白色干渉の原理を用いて、機械加工部品などの表面粗さ・形状を非接触かつ短時間に測定します。触針式の三次元表面粗さ測定機で必要なXY軸方向のスキャン動作が不要なため、測定スピードが圧倒的に速く、短時間で測定が完了します。
機械加工面の表面性状を非接触で３D測定・評価
当社独自の手法により、既存の白色干渉顕微鏡が苦手とする機械加工面の形状データをより鮮明に取得することができるようになりました。高研磨面やMEMS微細形状の測定から、自動車部品などの機械加工部品の測定まで、測定対象の幅が大きく広がります。
大型ワークピースをカットレスで測定
既存モデルでは、不可能であった大型ワークピースの設置・測定が可能です。カットワークの準備にかけていた工数を削減し省力化に寄与します。
＊最大積載荷重 ９６ｋｇ
＊最大ワーク高さ５９１ｍｍ（Ｓ仕様時）
白色干渉方式だから短時間で測定完了
白色干渉の原理を用いて、機械加工部品などの表面粗さ・形状を非接触かつ短時間に測定します。触針式の三次元表面粗さ測定機で必要なXY軸方向のスキャン動作が不要なため、測定スピードが圧倒的に速く、短時間で測定が完了します。
機械加工面の表面性状を非接触で３D測定・評価
当社独自の手法により、既存の白色干渉顕微鏡が苦手とする機械加工面の形状データをより鮮明に取得することができるようになりました。高研磨面やMEMS微細形状の測定から、自動車部品などの機械加工部品の測定まで、測定対象の幅が大きく広がります。
大型ワークピースをカットレスで測定
既存モデルでは、不可能であった大型ワークピースの設置・測定が可能です。カットワークの準備にかけていた工数を削減し省力化に寄与します。
＊最大積載荷重 ９６ｋｇ
＊最大ワーク高さ５９１ｍｍ（Ｓ仕様時）
非接触三次元表面粗さ・形状測定機の関連タグ
Contact 非接触三次元表面粗さ・形状測定機に関するお問い合わせ
出展企業情報
- 企業名
-
株式会社東京精密
- 企業PR
- 「 計測で未来を測り、半導体で未来を創る 」 1949年、精密機器事業からスタートした当社グループはこれまで、高い計測技術を搭載した精密測定機器を産業界に提供してきました。 半導体製造装置事業においても、国内初のウェーハスライシングマシンを市場に投入以来、求められる高度な微細化と3D、高効率化への対応に計測技術が活かされ、「計測事業を持つ唯一の半導体装置メーカー」という特徴は当社グループの強みの源泉となっています。
