超薄膜スクラッチ試験機

通常のスクラッチ法より薄い膜の剥離検出を実現したマイクロスクラッチ法（JIS R-3255、JIS K 7376）準拠の試験機です。膜厚10nmの測定実績もあります。

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超薄膜スクラッチ試験機の特長

　　◎膜厚μm以下の超薄膜の密着強度評価が可能

　　　膜厚10nmの測定実績もあります

　　◎サンプルを加熱しての加熱環境下での評価が可能

　　◎レンズ等の曲面測定が可能

　　◎測定部位を事前に顕微鏡観察することにより位置設定が可能

　　◎短時間で測定可（1測定1～2分程度）

　　◎一定荷重測定における破壊有無判断により、単純OK/NG評価が可能

左図に示すように、レコード針型のセンサに触針を取り付け、

センサを水平方向に励振させながら垂直方向に荷重を印加します。

この時、針先と膜の間に生じる摩擦力によって、磁石と近接した検

出コイルの位置関係が変化することから、両者の相対的な速度変化

をコイルに発生する電圧で検出します。

マイクロスクラッチ法では、膜の表面の変化をこのように針先の振

動の変化として感度良く検出します。

　　上記に超薄膜スクラッチ試験機の測定結果の代表例を示します。

　　超薄膜スクラッチ試験機の測定では、膜が剥離するまで印加する荷重を増大させていき、膜が破壊した時の

　　印加荷重値(臨界剥離荷重値)をもって評価を行います。破壊前は触針は膜表面を滑走していますが、膜の破壊

　　が発生すると、触針の受ける力に変化が生じます。水平方向(青色のグラフ)及び垂直方向(黒色のグラフ)の変

　　化から膜の破壊(表面状態の変化)を求めます。

　　上記スクラッチ試験結果のグラフ上では、約25秒の地点で信号が変化しており、グラフ下の測定傷の顕微鏡

　　観察結果からもこの地点での剥離が確認できることから、臨界剥離荷重値(115.80mN)と評価できます。

１．DVD保護膜の擦傷性（傷つき具合）への効果

通常のDVDは、低荷重領域から摩擦力の増加がありますが、ハードコートディスクは特定の荷重まで

傷の発生がなく、臨界はく離荷重で急激な摩擦力の変化が起こりました。

２．レンズなどの曲面計測も可能に（JIS R 3255）

印加荷重をリアルタイムでコントロール可能で、局面でも指定した荷重印加を実現できます。

周辺部は中央部と比較し、低荷重で破壊が発生し始めていることがわかりました。

3．温度依存性の評価が可能に

加熱ステージ（オプション）の追加により100℃までの加熱試験が可能となりました。

密着性の温度依存性について評価することができます。