株式会社エリオニクス超微小押し込み硬さ試験機（ナノインデンテーション） (ENT-5)

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あらゆる素材の硬さが分かる　ナノインデンテーション試験機 5世代目の「ENT」

「ENT」シリーズ 5 世代目の超微小押し込み硬さ試験機。測定環境の外乱を抑えることにより、高いデータの再現を実現した、親しみやすいGUIを備えた純国産のナノインデンテーション試験機です。

製品名: 超微小押し込み硬さ試験機（ナノインデンテーション）

型番: ENT-5

価格: お問合せ下さい

発売日: 発売中

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超微小押し込み硬さ試験機（ナノインデンテーション）の特長

あらゆる素材の硬さがわかる

・メッキ、硬質皮膜などの薄膜材料
・樹脂材料、フィルム系材料
・DLCなどの極薄膜
・機能性樹脂膜や表面改質膜
・微小粒子や粉体材料

ENT-5の特徴

・5 世代目の「ENT」
・測定環境の外乱を抑えることによる、高いデータ再現性
・純国産のため、実現できた親しみやすいGUI
・0.5 μN ～ 2,000 mN の幅広い試験荷重に対応

ナノインデンテーション試験

・薄膜、極表面、微小領域の硬さ・弾性率などの機械的特性が得られる
・荷重と変位の曲線を解析して特性を求めるため、圧痕観察不要
・ISO 14577-1/JIS Z 2255 に準拠

データ再現性とメンテナンス性

1, 温度管理機構
・サンプル、試験機の熱膨張を抑制
・風防内部を±0.1℃で温度管理
・測定部品には低熱膨張材（ノビナイト）を使用
・外部気流の影響を遮断

2, 高精度位置決めステージ
・自社開発の電子線描画装置用高精度ステージの技術を採用
・0.1μm ステップで位置決めが可能
・観察倍率2,000 倍で任意の場所を測定（標準対物レンズ20 倍、デジタルズーム併用時）

3, 除振機構
・振動に強いくさび形仕様の高精度ステージ
・アクティブ除振台を標準採用

4, ソフトウェア
・圧子先端補正、温度ドリフト補正、日常点検の注意喚起等の補助機能
・長年の実績で培った操作性

5, データ再現性
・振動や温度変化等の外乱の影響を抑えた機構で、データ再現性が向上
・連続測定においても安定したデータの取得が可能

6, メンテナンス性
・高荷重ユニット、低荷重ユニットの交換が簡易
・装置の校正をユニット交換により対応することで、装置ダウンタイムが低減

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出展企業情報

企業名: 株式会社エリオニクス

企業PR: エリオニクスは、1975年の創立以来、常に最先端の科学技術の進歩に貢献する装置作りを目指して、ナノテクノロジーの研究開発用装置を世に送り出してきました。電子ビーム描画装置では、1997年に、当時の最高スペックを1/5にした線幅10nmを描ける超高精細電子線描画装置を開発、その後も次々に世界最高性能の装置を開発してきました。 2つのCS「Challenge　and　Speed」「Customer　Satisfaction」を基本姿勢として、常に他社に先駆けた装置開発を行っており、それが現在までナノテク研究用装置メーカーとしてトップランナーであり続けられた理由であると考えております。研究開発用装置は日本国内及び、世界の大学・公的機関などにも導入され、高い評価を受けておりますが、今後は研究開発から事業化に向けた生産用装置の開発・販売にも注力してまいります。私たちはこれからも世界中の皆様の課題解決のパートナーとして、最高性能の装置、最高の顧客満足を提供する世界ブランドの企業を目指してまいります。