非接触の光学系で、分光反射率から薄膜の膜厚を測定します。
光を透明または半透明膜に照射し、その光のスペクトル情報から膜厚を算出するので、サンプルを傷付けず、再現性良く測定する方法として注目されています。 光ファイバーでサンプルを照射するので、場所を選ばず、インライン使用も可能になりました。 アクチュエータとの併用で、簡単なマッピング膜厚測定も実現します。
株式会社スペクトラ・コープ USB簡易型膜厚測定装置 (Handy Lambda Ⅲ Thickness)
USB簡易型膜厚測定装置の特長
USB簡易型膜厚測定装置 (Handy Lambda Ⅲ Thickness) 
各モデル製品仕様
モデル Handy Lambda Ⅲ Thickness Solid Lambda Thickness 測定膜厚範囲 300nm-20μm 300nm-100μm 内蔵光源 3Wハロゲン光源内蔵 3Wハロゲン光源内蔵 膜厚表示分解能 0.001μm 0.001μm 測定再現性 0.01μm以下 0.01μm以下 インターフェース USB2.0 USB2.0 税込価格 ¥ 1,680,000～ ¥ 2,310,000～ 本体価格 ¥ 1,600,000～ ¥ 2,200,000～
膜厚測定ソフトウエア
Thickness Viewer
最小300nm～最大100μmまでの各種透明膜の厚みを高速で簡便に測定
光学測定における膜厚測定は、ハロゲン光を照射してその反射や透過のスペクトルの波長帯域干渉を応用して、再現性良く膜厚を測定致します。そして、その再現性精度は、0.01um以下を誇ります。
また、サンプル測定においてXY自動ステージやトラバースを装置仕様に追加した場合は、厚みムラをビジュアル化した3D測定機能も追加出来ます。搬送機の中でのインライン使用の場合は、他周辺機器との通信の行えるように設計されており、その拡張性は多くのお客様のご支持を頂いております。
測定サンプル
測定可能サンプル
測定不可能サンプル
１）フィルム
２）シリコン、窒化シリコン、酸化シリコン
３）接着剤、コーティング剤
４）色素膜、油膜、カラーフィルター膜
５）空気層
６）フォトレジスト ７）酸化チタン
８）誘電体膜、金属酸化膜
９）UV硬化樹脂
１０）ガリウム砒素
１１）CD、MD、DVD
１２）ポリマー １）塗装膜
２）金属膜
お見積り・ご質問等、お気軽にお問合せ下さい。
USB簡易型膜厚測定装置 (Handy Lambda Ⅲ Thickness)
各モデル製品仕様
| モデル | Handy Lambda Ⅲ Thickness | Solid Lambda Thickness |
| 測定膜厚範囲 | 300nm-20μm | 300nm-100μm |
| 内蔵光源 | 3Wハロゲン光源内蔵 | 3Wハロゲン光源内蔵 |
| 膜厚表示分解能 | 0.001μm | 0.001μm |
| 測定再現性 | 0.01μm以下 | 0.01μm以下 |
| インターフェース | USB2.0 | USB2.0 |
税込価格 | ¥ 1,680,000～ | ¥ 2,310,000～ |
本体価格 | ¥ 1,600,000～ | ¥ 2,200,000～ |
膜厚測定ソフトウエア
Thickness Viewer
最小300nm～最大100μmまでの各種透明膜の厚みを高速で簡便に測定
光学測定における膜厚測定は、ハロゲン光を照射してその反射や透過のスペクトルの波長帯域干渉を応用して、再現性良く膜厚を測定致します。そして、その再現性精度は、0.01um以下を誇ります。
また、サンプル測定においてXY自動ステージやトラバースを装置仕様に追加した場合は、厚みムラをビジュアル化した3D測定機能も追加出来ます。搬送機の中でのインライン使用の場合は、他周辺機器との通信の行えるように設計されており、その拡張性は多くのお客様のご支持を頂いております。
測定サンプル
測定可能サンプル | 測定不可能サンプル | |
| １）フィルム ２）シリコン、窒化シリコン、酸化シリコン ３）接着剤、コーティング剤 ４）色素膜、油膜、カラーフィルター膜 ５）空気層 ６）フォトレジスト | ７）酸化チタン ８）誘電体膜、金属酸化膜 ９）UV硬化樹脂 １０）ガリウム砒素 １１）CD、MD、DVD １２）ポリマー | １）塗装膜 ２）金属膜 |
お見積り・ご質問等、お気軽にお問合せ下さい。 |
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USB簡易型膜厚測定装置に関するお問い合わせ
出展企業情報
- 企業名
-
株式会社スペクトラ・コープ
- 企業PR
- 分光分析の可能性を広げる、スペクトラ・コープは Carl Zeiss 社製分光器の日本代理店です。
