低接触圧×高精度。非接触の代替となる精密測定ソリューション。
低接触力変位センサーは、ガラス測定、半導体検査、精密部品測定等向けに開発された高精度変位センサーです。ワークへのダメージを抑えながら、優れた繰返し精度と信頼性の高い測定データを提供します。
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低接触力変位センサーは、ガラス測定、半導体検査、精密部品測定等向けに開発された高精度変位センサーです。ワークへのダメージを抑えながら、優れた繰返し精度と信頼性の高い測定データを提供します。
フェザータッチプローブ(DTタイプ)およびウルトラフェザータッチプローブ(DWタイプ)は、従来の接触式変位センサーと比較して大幅に低い接触力を実現。ガラス、半導体ウェーハ、ディスプレイ、電子部品などの傷つきやすいワークに対しても、表面を傷めることなく高精度な寸法測定が可能です。特にウルトラフェザータッチプローブは、非接触センサーの代替としても活用できる超低荷重測定を実現します。
センサータイプ
フェザータッチプローブ(DTタイプ)
ウルトラフェザータッチプローブ(DWタイプ)
エアー/スプリングプッシュ