オペランド条件下での超高速ナノインデンテーション
iX05 は、高温、低温、高ひずみ速度など、幅広いオペランド条件下での材料特性解析に最適な、MEMS ベースのスタンドアロン型ナノインデンターです。
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社 iX05 (iX05)
iX05の特長
主要な機能
オペランド ナノインデンテーション
iX05 オペランドナノインデンテーションシステムは、+800 °Cまでの高温試験と-150 °Cまでの低温試験に対応しています。このシステムは、不活性ガス雰囲気または高真空下での試験を可能にする環境制御機能を備えたモーター駆動式チャンバーを採用しており、酸化や汚染を最小限に抑えます。
温度範囲：-150 °C から +800 °C まで
運転圧力：5⋅ 10-4 mBar まで低減
超高速ナノインデンテーション
iX05 は、超高速でのナノインデンテーションが可能です。最大1秒間に 30 回のナノインデンテーションマッピングを行うことができます。FemtoTools MEMS 力センサーと超高速電子回路を組み合わせることで、2 MHzのサンプリングレートと 500 kHzのフィードバック周波数を実現し、高速動作時においても比類ない性能を発揮します。
温度範囲：最大２N
ノイズフロアを強制設定（10 Hz時）：最小 100 pn
超高分解能
iX05 は、超高分解能ナノインデンテーション機能を備えており、硬さや弾性率のわずかな変化も検出できます。さらに、20μm の範囲でノイズフロアが 5pm 未満の変位を検出できる機能を備え、7 桁の測定範囲をカバーしています。また、この装置は、SI 単位で測定可能な力測定を実現する交換可能な MEMS ベースの力センサーを搭載しており、100 pN（ノイズフロア）から 2 Nまでの範囲をカバーしているため、10 桁の測定範囲を実現しています。iX05 には、精度と正確性を確保するための自動化された高精度なキャリブレーション手順が搭載されているため、スムーズに利用することができます。
主要な機能
オペランド ナノインデンテーション
iX05 オペランドナノインデンテーションシステムは、+800 °Cまでの高温試験と-150 °Cまでの低温試験に対応しています。このシステムは、不活性ガス雰囲気または高真空下での試験を可能にする環境制御機能を備えたモーター駆動式チャンバーを採用しており、酸化や汚染を最小限に抑えます。
温度範囲：-150 °C から +800 °C まで
運転圧力：5⋅ 10-4 mBar まで低減
超高速ナノインデンテーション
iX05 は、超高速でのナノインデンテーションが可能です。最大1秒間に 30 回のナノインデンテーションマッピングを行うことができます。FemtoTools MEMS 力センサーと超高速電子回路を組み合わせることで、2 MHzのサンプリングレートと 500 kHzのフィードバック周波数を実現し、高速動作時においても比類ない性能を発揮します。
温度範囲：最大２N
ノイズフロアを強制設定（10 Hz時）：最小 100 pn
超高分解能
iX05 は、超高分解能ナノインデンテーション機能を備えており、硬さや弾性率のわずかな変化も検出できます。さらに、20μm の範囲でノイズフロアが 5pm 未満の変位を検出できる機能を備え、7 桁の測定範囲をカバーしています。また、この装置は、SI 単位で測定可能な力測定を実現する交換可能な MEMS ベースの力センサーを搭載しており、100 pN（ノイズフロア）から 2 Nまでの範囲をカバーしているため、10 桁の測定範囲を実現しています。iX05 には、精度と正確性を確保するための自動化された高精度なキャリブレーション手順が搭載されているため、スムーズに利用することができます。
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出展企業情報
- 企業PR
- オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社 は、Oxford Instruments plc が日本における事業推進を目的として設立した日本法人です。 当社の体制は、EDS/EDX に代表される電子顕微鏡関連分析機器、共焦点顕微鏡・科学用カメラ・分光器、原子間力顕微鏡（AFM）、ラマン顕微鏡、NMR 分析装置を扱うイメージング＆アナリシス事業部、半導体製造向け ALD/ALE を扱うプラズマテクノロジー事業部、MRI メーカー向けにフィールドサービスを提供する MRI 事業部、そして当社製品の活用を支援する Oi サービス本部によって構成されています。
