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株式会社 日立ハイテク ｜最終更新日：2025/08/19
中型プローブ顕微鏡システム（SPM） (AFM5500M)
より正確なナノ3D計測
広域フラットスキャナを搭載し、メカニカル起因の測定誤差を排除した走査型プローブ顕微鏡システムAFM5500Mなら、ナノメートルレベルの凹凸構造やうねりを高精度に測定できます。カンチレバーの装着・交換、光軸調整の自動化により、オペレーターの負担を軽減し、SEM、各観察装置との座標リンケージを実現しました。株式会社 日立ハイテク ｜最終更新日：2025/08/19
