走査電子顕微鏡 (JSM-IT200)

日本電子株式会社｜最終更新日：2018/06/27

基本情報

すぐ観察！すぐ分析！すぐ報告！分析装置がツールに変わる

JSM-IT200は、上位機種であるJSM-IT500の機能をよりシンプルに、使いやすくしたコストパフォーマンス重視の走査電子顕微鏡です。

試料交換ナビは、試料室を開けるところから観察開始までナビゲーションを行う機能です。

メイン画面に表示したホルダーグラフィックや光学CCD画像^*1を使って、視野探しや分析位置の指定が行えます。

*1　CCD画像撮影にはSNS (オプション) が必要です。

スペクトル表示と元素表示で、観察中の視野のスペクトルと主元素を確認できます。

*2　LA （Low Vacuum & Analysis）に適用されます

データ管理アイコンを押してデータ管理画面を表示すると、SEM像から分析まで全データのレポート一括作成、データの見直し、データの再解析が行えます。

分解能	高真空モード：3nm（30kV）、8nm（3kV)、15nm(1kV) 　低真空モード：4nm (30kV BED)
倍率	×5　～　×300,000　（画像サイズ128mm×96mmにて）
低真空圧力	10　～　100Pa
加速電圧	0.5 〜　30kV
試料ステージ	ユーセントリックステージ　X：80mm、Y：40mm、Z：5 ～ 48mm、傾斜：-10° ～ +90°、回転：360°
最大試料寸法	150mm径　×48mm高さ

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