蛍光X線膜厚計 (FT110A)

基本情報

自動位置決め機能により、焦点を自動的に合わせることができ、測定スループットが格段に向上しました。

X線を金属薄膜に当てると、試料を構成する元素に応じた蛍光X線が放出されます。各元素由来の蛍光X線の強度比から金属薄膜の膜厚を知ることができます。めっき膜の厚さ測定などに使われます。　　　　　（代理店：日本電計株式会社と共同出展）

自動位置決め機能により、サンプルを置くだけで、数秒以内に

試料観察光学系のフォーカスを合わせます。

最適レイアウトで微小ビームの高感度化を実現し、微小コリメータ（φ0.1、0.2mm）での

膜厚測定精度が向上しました。

薄膜FPソフト拡充により、厚み標準物質なしでも測定が可能です。

多層膜や合金膜の測定が簡単に行えます。

広域観察システムにより、試料全体像（最大250×200mm）

を観察し、特定部の測定位置を容易に指定することができます。

　お見積り・ご質問等、お気軽にお問合せ下さい。

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既に蛍光X線膜厚計をお使いですか。 *	日立ハイテクサイエンス（旧エスアイアイ・ナノテクノロジー）製品を使用中他社製品を使用中外部で使用したことはあるが持っていない使ったことはないその他
購入をお考えですか。 *	更新予定増強予定新規導入予定今後の参考のためにその他
どのような試料を測定予定ですか。	試料の種類、構成元素、膜厚など差支えない範囲で教えてください。