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  株式会社 日立ハイテク ｜最終更新日：2025/08/19

  ナノ３D光干渉計測システム (VS1330)

  粗さ測定を線から面へ。高い垂直分解能で、広い面積について面粗さを測定できます。
  
  「光干渉方式」の採用により、垂直方向の高い分解能と広い観察範囲を同時に実現しました。「非接触表面形状計測」の他、「層断面計測」も可能です。垂直分解能0.01nm、面内分解能350nm～。

  # 表面微細観察 # 白色干渉顕微鏡 # 三次元計測 # 非接触３次元計測 # 高精度形状測定 # 膜厚測定 # 形状測定 # 表面粗さ

  株式会社 日立ハイテク ｜最終更新日：2025/08/19

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  株式会社 日立ハイテク ｜最終更新日：2025/08/19

  ナノ３D光干渉計測システム (VS1800)

  光の干渉現象を利用して微細な表面形状測定を行い、高機能フィルムや半導体、自動車部品、ディスプレイ業界において求められている高精度な計測を実現します。
  
  光の干渉現象を利用し、高精度かつ広範囲な表面形状計測を高速に行うことができます。従来の線粗さ測定では、測定箇所や走査方向に依存するバラつきが課題でした。その対応として定められたISO25178のパラメータ算出法を採用したVS1800は、表面形状の新たなスタンダードです。高さ分解能0.1nm以下で、AFMに比べ広い面に対し測定可能です。

  # 表面微細観察 # 白色干渉顕微鏡 # 三次元計測 # 非接触３次元計測 # 高精度形状測定 # 膜厚測定 # 形状測定 # 表面粗さ

  株式会社 日立ハイテク ｜最終更新日：2025/08/19