用語集一覧

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ELID鏡面研削法

電解インプロセスドレッシング鏡面研削法:シリコンウエハなどを鏡面加工する技術。ELID[ELectrolytic In-process Dressing]加工が困難なセラミックス、ガラス、フェライト、高硬度鋼材、複合材料に対して鏡面加工ができる技術。理化学研究所素形材光学研究室が開発。ドレッシング:目立て

ESD

[Electro-Statics Discharge]:【イーエスディー】静電気放電。電子回路を静電気や雷サージから守るための素子。サージ保護デバイス。チップバリスタ:バリスタ(酸化亜鉛)はIoT通信や車載通信のESD対策で使用される。

e-fuel

再生可能エネルギー(太陽光、風力)を使用し、水から生成した合成液体燃料(液体炭化水素鎖)。ガソリン燃料やディーゼル燃料に混合して使用することで、生成時からCO2を減らす事を考え「カーボンニュートラル(炭素中立)」を実現すると期待されている。

EPTV

[Electric Power Train Vehicle]

FIB

集束イオンビーム。電界で加速したイオンビームを細く絞ったもの。試料にビームを当てることにより、微細加工、蒸着、観察に用いる装置のこともいう。試料の微細箇所を狙って加工ができるため、SEM、TEMの前処理として用いられることも多い。

FE-SEM

電界放射型の電子源を持った走査型電子顕微鏡。熱電子放出型に比べて高分解能の観察が可能である。=電界放射型走査電子顕微鏡、フィールドエミッションSEM。

FFT

高速フーリエ変換の略で、フーリエ変換の数値計算を整理してかけ算の回数をずっと少なくなるように計算法を変えたもの。(1965 年、CooleyとTukey によって提案されデジタルコンピュータを使用するフーリエ変換の方式。)

FFT アナライザ

アナログ入力の信号波形をサンプリングしてデジタル化し、高速フーリエ変換(FFT)したのち演算処理し、周波数スペクトラムを解析・表示するように作られた測定器。複雑な振動成分を分解し、周波数特性などを観察することができる。 高速フーリエ変換解析器の略。

FFT 解析

FFT 演算により、入力信号を時間軸領域から周波数軸領域のデータに変換して各種解析を行う方法。 音響、振動解析をするにあたり最も広く普及されている解析器。

FT-IR

フーリエ変換赤外分光法。マイケルソン干渉計で得られた赤外光の干渉パターン(インターフェログラム)を高速フーリエ変換することにより各周波数成分(波数、波長)を横軸としたスペクトルを得る赤外分光法。波数精度が高いため、現在では分散型赤外分光法より多く用いられる。

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