高感度蛍光X線分析装置 (EA6000VX)

株式会社 日立ハイテクサイエンス|最終更新日:2021/04/05

基本情報

高感度蛍光X線分析装置
  • 高感度蛍光X線分析装置

世界最速レベルの超高速マッピング元素分析が可能。有害物質管理、微小異物検査に!

基板全面に渡る有害物質の管理や、微小異物の測定など従来の装置では困難だったものも可能になりました。基板に潜む鉛の検出、最大250×200mmの試料に混入する数十μmの金属異物も短時間で検出できます。    (代理店:日本電計株式会社と共同出展)

型番
EA6000VX
価格
18,000,000円~
発売日
発売中
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高感度蛍光X線分析装置の特長

1. 高速マッピング

最大15万cpsの高計数率検出器による高感度測定と、最大250mm × 200mmエリアをマッピング可能な高速ステージにより、高速マッピング測定が可能です。

100mm × 100mmエリアでは、実装基板の端子に含まれる鉛を2~3分で検出し、部位を特定可能です。

 

2. 微小部測定

SFTシリーズで定評があるめっきの膜厚測定にも、EA6000VXは対応しています。極薄Auめっきなどの膜厚測定はもちろん、めっき中に含まれるPbなどの有害物質分析を膜圧測定と同時に 行うことも可能です。

 

3. 環境規制物質の測定に対応

RoHS等規制物質の高感度測定 樹脂、金属等に含有する微量な環境規制物質を短時間で測定できます。
複数の材料が組み合わさった試料でも特定の部位を絞って測定ができます。

 

4. 軽元素対応

Heパージオプション装着により、Naからの軽元素の分析が可能です。

測定している間だけHeをパージする独自の安定したシステムでランニングコストも低減しています。

 

5. シースルーマッピング機能

ノートPCや携帯電話など、外装部品により内部の構造がわからない製品について、分解せずに内部の基板上のPbをはじめ、様々な元素のマッピング像を得ることができます。

X線を透過させて得られる元素のマッピング像を比較することにより、内部の部品や構造について、様々な情報を得ることが可能です。

 

6. 異物検出

EA6000VXは、高速マッピング機能により広域エリア(最大250mm × 200mm)に含有する数十µmの微小な金属異物を数分で検出し、含有部位を特定できます。

樹脂などの有機物であれば内部に含有している微小、微量金属異物も検出できます。

 

 お見積り・ご質問等、お気軽にお問合せ下さい。

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出展企業情報

企業名
株式会社 日立ハイテクサイエンス
企業PR
分析・計測・観察装置の、開発、製造、販売。(2013年1月1日より、エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社から社名変更いたしました)
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お近くの日本電計各営業所まで
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