コンパクトタイプ両面顕微鏡 (表裏位置ずれ計測システム AF:オプション) (TOMOS-50)

株式会社フローベル｜最終更新日：2022/09/13

基本情報

表裏(両面)の位置ずれ／寸法／計測　両面測定顕微鏡。高精度、低価格化を実現。

水晶振動子、ＭＥＭＳ、インクジェットノズル、半導体電子部品などの検査に！表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能！表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正！ ±0.2μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定！（条件により異なる）装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能！

型番: TOMOS-50

価格: お問合せ下さい

発売日: 発売中

コンパクトタイプ両面顕微鏡 (表裏位置ずれ計測システム AF:オプション)の特長

【用途】

【観察】

電子ペーパーの電気泳動、粒子、流体、

フィルターなどの表裏同時観察

■落射、透過、落射＋透過照明で撮影が可能
■両面同時観察、画像ファイリング、動画記録

【表裏位置ずれ計測】

インクジェットノズル、水晶振動子、

ＭＥＭＳなどの表裏位置ずれ計測

■表裏カメラ座標を校正し、位置ずれ計測
■測定個人差の無い自動計測が可能

【表裏寸法計測】

水晶振動子、半導体線幅パターンなどの表裏寸法計測

■両面同時に寸法計測
■測定個人差の無い自動計測が可能

測定可能内容

光学系	正立、倒立
対物レンズ	5、10、20、50倍から選択
粗微動調整	正立、倒立（手動）
XY可動範囲	100mm × 100mm
照明	白色LED照明（変更可）正立、倒立（ソフト制御）
カメラ	正立、倒立　2個
センサー	1/1.8型CMOSモノクロ（カラー可）
画素数	300万画素
映像出力	CameraLink
制御部（PC）	Windows10
モニター	縦型液晶モニター、2カメラ映像表示
ソフト機能	表裏光軸補正機能表裏同時撮影、ファイリング表裏合成表示表裏寸法手動計測表裏寸法自動計測（オプション）表裏位置ずれ手動計測表裏位置ずれ自動計測（オプション）

【組込用】

装置(自動機)組み込み用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能！

コンパクトタイプ両面顕微鏡 (表裏位置ずれ計測システム AF:オプション)の資料ダウンロード

TOMOS-50_202010.pdf（522.24 KB）

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出展企業情報

企業名: 株式会社フローベル
企業PR: "人間の目を超える超最先端カメラの開発メーカーです。 1975年に設立された当社は、計測用ビデオ機器の開発・製造・販売からスタートし、顕微鏡用カメラ、内視鏡立体カメラシステム等、他社にない革新的な産業機器用の各種カメラを開発・製造・販売をしている会社です。近年では超高感度カメラを開発し、第71回(2020年)エミー賞(ANNUAL TECHNOLOGY & ENGINEERING EMMYR AWARDS) を受賞いたしました。フローベルの超高感度カメラは宇宙・深海・監視・医療まで幅広く使われ、引き続き「見えないものを見えるようにする」との企業コンセプトのもと、ソフト・ハードを組み合わせた最先端の研究開発型企業として監視系、医療系、FA系、スポーツ系、インタラクティブ系等々幅広い分野で社会のお役に立てる「もの造り」に取り組んでまいります"
連絡先: tsuge@flovel.co.jp