WDS
波長分散型X線分光器を使ったX線分光法。エネルギー分解能が高い、検出感度が高いなどの利点もあるが、複数元素の同時分析ができない（複数元素の場合は時間が掛かる）、大きなプローブ電流が必要という弱点もある。EPMAの詳細分析には通常WDSが使われる。また、素材の詳細元素分析にはWDSの蛍光X線分析が用いられる。=WDX
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