F50自動膜厚マッピング測定システム (F50)

フィルメトリクス株式会社|製品掲載日:2014/04/07
F50自動膜厚マッピング測定システム
  • F50自動膜厚マッピング測定システム
  • F50自動膜厚マッピング測定システム
  • F50自動膜厚マッピング測定システム
  • F50自動膜厚マッピング測定システム

自動で膜厚をマッピングし、膜厚を立体的にイメージ出来る膜厚測定システム

4インチから450mmまでのシリコン基板に対応し、任意に指定された1点から数百点までの測定ポイントを簡単な操作で自動高速測定可能な自動膜厚マッピング測定システムです。 結果を3D画像として表示することで、数値だけでなく視覚的に膜厚を捉えることが可能です。測定ポイントの任意設定に加え、幅広く豊富なラインナップから測定対象の膜厚や膜の特性などのご要望に応じた柔軟な対応が可能です。

型番
F50
価格
お問合せ下さい
発売日
販売中
お問い合わせはこちら

F50自動膜厚マッピング測定システムの特長


操作性と性能

基本的なパソコンの知識だけでマウスで簡単に測定可能。独自の解析手法により多層膜測定も可能です。

マッピング

サンプルの複数箇所を任意選択することで高速に膜厚分布を検出するので、膜厚を2D3D画像として視覚的に確認できます。

スピード

300mmウエハー上の25ポイントの測定を21秒で完了します。

測定時間例

200mmサンプルサイズ

300mmサンプルサイズ
5ポイント      5秒 5ポイント     8秒
25ポイント      14秒 25ポイント    21秒
56ポイント      29秒 56ポイント    43秒

※Si基板上のSiO2膜単層を測定した場合


サイズ

サンプルサイズの大きさに応じた450mm、300mm、200mm、6インチ、4インチ、3インチ、2インチチャックを選択可能。
大型ガラス基板に対応したオプション製品もございます。

ラインナップ

膜厚や膜の特性に応じて、紫外光、可視光、近赤外光の測定領域に対応出来る豊富な商品ラインナップの中から選択可能です。  

コンパクト設計

本体の大きさは483(L)✕355(W)✕280(H)mm
(450mm対応製品は除く)
本体とステージが一体となっている本製品はサイズがコンパクトな為、設置場所を選びません。
 

仕様

  F50-UV F50 F50-NIR F50-EXR
分光波長範囲 200 ~ 1100nm 380 ~ 1050nm 950 ~1700nm 380 ~1700nm
膜厚測定範囲 5nm ~ 40μm 20nm ~ 70μm 100 nm~ 250μm 20nm ~ 250μm

 

F50自動膜厚マッピング測定システムに関するお問合せ

製品やサービスに関するお問い合わせやご相談は、下記のフォームをご利用下さい。後日、ご要望に応じてご連絡を差し上げます。

*印の項目は必須入力となります。必要事項にご記入の上、「送信」ボタンをクリックしてください。

お問い合わせ種別 *



企業・団体名 *
部署名
氏名 *
ふりがな *
郵便番号 * Powered by ZIPSERVER
ご住所 *
都道府県
市区町村
以下住所
電話番号 *
FAX番号
メールアドレス *
お問い合わせ内容 *

出展企業情報

企業名
フィルメトリクス株式会社
企業PR
フィルメトリクス株式会社は、膜厚測定を通じてお客様のものづくりを支援するソリューションカンパニーです。
連絡先
045-473-7109
facebookでシェアする
開催中の展示会 電子計測機器展 試験機器展 太陽電池テクノロジー展 科学・分析機器展 EMC・ノイズ対策技術展 自動車テクノロジー展 画像・センシング展 二次電池テクノロジー展 ディスプレイテクノロジー展 ソフトウェア展 省エネ計測展

高解像度のスマートサーモグラフィ testo 865/868/871/872

年度末予算で計測器をお探しならテクトロ二クス/ケースレー

FTAでこんなに簡単なツールがあった!

YouTubeチャンネル 公式facebookページ 公式ツイッター

注目の動画

ライカ デジタルマイクロスコープ (Leica DVM6)の動画デモンストレーション

ライカ デジタルマイクロスコープ
(Leica DVM6)

ワンハンドデジタルマイクロスコープの簡単画像撮影をご紹介!

トピックス

トピックス一覧を見る  RSS
計測展用語集はこちら
メルマガ購読設定

業界ニュースや登録メーカー各社の最新の情報をお届けいたします。

購読
出展をご希望のメーカー様へ