F40顕微鏡膜厚測定システム (F40)

フィルメトリクス株式会社|製品掲載日:2014/04/03
F40顕微鏡膜厚測定システム
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可視/紫外/近赤外領域の測定が出来る顕微鏡式膜厚測定システム。

お手持ちの顕微鏡に接続してすぐに膜厚測定可能な顕微鏡膜厚測定システムです。 安価でありながら十分な性能を備えており、パソコンのモニターで顕微鏡観察画面を確認しながら測定できるので機能性と利便性に優れております。 弊社が提供する紫外領域、近赤外領域の両方に対応した膜厚測定専用顕微鏡ユニットを使用すれば、広い範囲での膜厚測定が可能になり、活用の幅が広がります。

型番
F40
価格
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発売日
販売中
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F40顕微鏡膜厚測定システムの特長




微小測定

最小1ミクロンサイズ(100倍の対物レンズ使用時)に対応、サンプルの微細領域の膜厚測定に最適です。

 

 

 


設計

お手持ちの顕微鏡に接続して測定出来るので、特殊顕微鏡を追加購入する必要性がありません。ほとんどの顕微鏡にビデオカメラを装着する要領で取り付けできるのでコンパクトにご使用頂けます。


操作性

コンピューターのモニター上で確認できるカラービデオカメラを内蔵しており、測定箇所をモニターで確認しながら膜厚、屈折率の測定が可能です。

高精度測定

膜の表面及び基板界面からの反射光を分光解析する技術や独自のFFT解析手法による多層膜の膜厚解析技術により、1秒程度で膜厚、屈折係数が測定可能です。


紫外/近赤外対応

一般的な顕微鏡で確認できる可視領域だけでなく、紫外/近赤外領域に対応した特殊な顕微鏡は非常に高価なものですが、フィルメトリクスではオプションとして自社開発した紫外/近赤外領域対応の膜厚測定用顕微鏡ユニットを安価で提供しております。


 

仕様

  F40 F40-NIR F40-EXR F40-UV F40-UVX





5倍レンズ使用時 20nm~20μm 40nm~40μm 20nm~40μm - -
10倍レンズ使用時 20nm~15μm 40nm~30μm 20nm~30μm - -
15倍レンズ使用時 20nm~15μm 40nm~30μm 20nm~30μm 4nm~20μm 4nm~40μm
50倍レンズ使用時 20nm~2μm 40nm~4μm 20nm~4μm - -
100倍レンズ使用時 20nm~1.5μm 40nm~3μm 20nm~3μm - -
分光器波長範囲 450~850nm 950~700nm 400~1700nm 200~1100nm 200~1700nm

 

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出展企業情報

企業名
フィルメトリクス株式会社
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連絡先
045-473-7109
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