6インチステージ 表裏位置ずれ計測システム (TOMOS-60)

株式会社フローベル|最終更新日:2023/08/07

基本情報

6インチステージ 表裏位置ずれ計測システム
  • 6インチステージ 表裏位置ずれ計測システム

表裏の位置ずれ/寸法測定顕微鏡。高精度、低価格化を実現。

◆6インチXYステージを搭載! ◆水晶振動子、MEMS、インクジェットノズル、半導体電子部品などの検査に! ◆表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能! ◆±0.3μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定!(被写体や環境条件により異なる) ◆表裏2chオートフォーカスユニット組み合わせ可能!(オプション)

型番
TOMOS-60
価格
お問合せ下さい
発売日
発売中
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6インチステージ 表裏位置ずれ計測システムの特長

用途

【観察】

【観察】

電子ペーパーの電気泳動、粒子、流体、
フィルターなどの表裏同時観察

■落射、透過、落射+透過照明で撮影が可能
■両面同時観察、画像ファイリング、動画記録

【表裏位置ずれ計測】

【表裏位置ずれ計測】

水晶振動子、MEMSなどのアライメントマーク、
貫通穴の表裏位置ずれ計測

■表裏画像の重ね合わせ表示、計測
■測定個人差の無い自動計測が可能

【表裏寸法計測】

【表裏寸法計測】

水晶振動子、半導体線幅パターンなどの表裏寸法計測

■両面同時に寸法計測
■測定個人差の無い自動計測が可能

機能

両面映像芯出し
倍率補正機能
両面映像を重ね合わせ
表示し、ずれ量を計測
マークのエッジから
中心座標を自動検出し高精度に計測が可能

6インチステージ 表裏位置ずれ計測システムの資料ダウンロード

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出展企業情報

企業名
株式会社フローベル
企業PR
"人間の目を超える超最先端カメラの開発メーカーです。 1975年に設立された当社は、計測用ビデオ機器の開発・製造・販売からスタートし、 顕微鏡用カメラ、内視鏡立体カメラシステム等、 他社にない革新的な産業機器用の各種カメラを開発・製造・販売をしている会社です。 近年では超高感度カメラを開発し、 第71回(2020年)エミー賞(ANNUAL TECHNOLOGY & ENGINEERING EMMYR AWARDS) を受賞いたしました。 フローベルの超高感度カメラは宇宙・深海・監視・医療まで幅広く使われ、 引き続き「見えないものを見えるようにする」との企業コンセプトのもと、 ソフト・ハードを組み合わせた最先端の研究開発型企業として 監視系、医療系、FA系、スポーツ系、インタラクティブ系等々幅広い分野で 社会のお役に立てる「もの造り」に取り組んでまいります"
連絡先
tsuge@flovel.co.jp
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