今回はワークにダメージを与えず、正確にナノオーダーの微小な3次元測定がスキル無しで可能となる「ハンディAFM」を開発したソフトワークス株式会社　特機事業部部長の杉田様にお話を伺いました。

現行販売されている、AFMは大変高価で、柔軟性も無く、取り扱いも難しいので、誰でも簡単にナノレベル測定が、廉価で、出来ないかと、思いたちました。

また、装置サイズで、15cm角の超小型ハンディAFM、ステージサイズを、自由に選べる、オープンAFM、カセットタイプの、全自動AFMをラインナップして、容易にご要望に応えます。

AFMは、SEMと違い、サンプルを選ばず測定可能ですので、業界が多岐に渡り、その測定サンプル材質の特性など、多少なりとも勉強する必要が出てきます。また基本ソフトとして、どの様な機能が、欲しいのか等、お客様と連携しながら、経験を積む必要が有ります。測定モードも、3次元トポグラフィー以外、堅さ測定、磁界、電流測定など有り、その測定に有った提案をできるかが、苦労した点でしょうか。

新しい測定アプリケーションとして、AFMと、他の測定手法の組み合わせ、例えば、AFMと非接触厚さ計や、干渉計、色々な顕微鏡などと同じステージ上で、測定出来る装置など、組み合わせて複合装置として提案できる様に展開して行きたいと思います。

柔軟性に特化してさらに、高性能、使い勝手の良さ、廉価を追求し、迅速な対応、短納期対応など、行程の見直しを随時行っていきます。

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ソフトワークス株式会社
現在のシステムをさらなるニーズで進化させます。 私達ソフトワークスは、テーマ＝条件に対し、解決法＝画像処理ソフト開発を考えます。照明などの光学系や機械系の検討から初め、機械系とのインターフェイス、技術系コンサルタントから具体的な画像処理ソフトの開発までを手がけます。

■開発事例／ ワイヤボンディングの外観自動検査、半導体インマーク自動認識装置、X線によるLiイオン電池内部自動検査装置、半導パターンの欠陥検査装置、半導体ウェハのエッジ外観検査装置、液晶パターンの欠陥検査装置

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